EUV 장비 도입 최대 25일 단축, 검사비 장비당 5억 원 절감

산업통상부는 2026년 6월 2일 국무회의에서 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안을 의결했습니다. 개정안은 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준을 적용하는 것이 핵심입니다. 이 기준 변경은 반도체 장비의 안전관리 분류를 바꾸는 규정입니다.

극자외선(EUV) 장비는 반도체 공정에 필수적입니다. 장비 내부에는 고압가스 배관과 장치가 포함돼 그동안 '고압가스 제조설비'로 분류돼 왔습니다. 그 결과 설치 때마다 기술검토와 검사를 받아 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 커진다는 지적이 있었습니다.

이번 개정으로 삼성전자와 SK하이닉스 등은 장비 도입 시 검사에 소요되는 기간이 기존 34일에서 9일로 줄어들 것으로 예상됩니다. 산업부는 검사 기간 단축으로 장비를 더 빠르게 가동할 수 있다고 설명했습니다.

산업부는 해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사 비용이 장비당 약 5억 원 줄어들 전망이라고 밝혔습니다. 산업부는 이 조치로 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속히 가동할 수 있어 국내 반도체 산업의 경쟁력 강화에 도움이 될 것으로 기대한다고 밝혔습니다.

개정안에 따라 EUV 장비는 특정설비로 지정돼 3년 주기의 공장심사와 종합공정검사를 받게 됩니다. 해당 심사로 제조사의 제조공정과 품질관리 능력을 확인해 기존과 동등한 수준의 안전을 확보한다고 설명했습니다.

정부는 업계와 협의를 거쳐 글로벌 기준과 국내 안전관리 체계의 정합성을 검토해 왔으며, 개정안은 국무회의 의결을 거쳐 다음 행정 절차로 이행됩니다.