EUV 장비 도입 최대 25일 단축, 검사비 장비당 5억원↓

산업통상부는 2026년 6월 2일 국무회의에서 '고압가스 안전관리법 시행령' 일부개정안을 의결했습니다. 개정안은 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조 장비를 고압가스 일반제조시설이 아닌 '특정설비' 기준으로 적용하도록 하는 내용입니다. 이 조치로 EUV 장비의 도입 절차가 간소화됩니다.

EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치를 포함합니다. 그동안 이 장비는 현행법에서 '고압가스 제조시설'로 분류돼 설치 때마다 기술검토와 검사를 받아왔습니다. 업계에서는 이 때문에 장비 도입이 지연되고 기업 부담이 커진다고 지적해 왔습니다.

개정안에 따라 EUV 장비는 특정설비로 지정됩니다. 특정설비로 지정되면 3년 주기의 공장심사와 종합공정검사를 받습니다. 이 과정에서 제조사의 제조공정과 품질관리 능력을 확인합니다.

이번 제도로 장비 도입 기간이 최대 25일 단축될 전망입니다. 산업부는 장비 도입 시 검사 등에 소요되는 기간이 기존 34일에서 9일로 줄어들 것으로 예상한다고 밝혔습니다. 국무회의 의결로 제도 변경 절차가 확정됐습니다.

해외 공인검사기관의 내압·기밀 검사 비용은 장비당 약 5억원 절감될 전망입니다. 산업부는 이 제도를 통해 첨단 제조장비를 적시에 도입하고 신속히 가동할 수 있게 된다고 밝혔습니다. 개정안은 반도체 업계와 협의를 거쳐 마련됐습니다.